（1）直接利用线状的电极丝作线电极，不需要像电火花成形加工一样的成形工具电极，可节约电极设计和制造费用，缩短了生产准备周期。
（2）可以加工用传统切削加工方法难以加工或无法加工的微细异形孔、窄缝和形状复杂的工件。
（3）利用电蚀原理加工，电极丝与工件不直接接触，两者之间的作用力很小，因而工件的变形很小，电极丝、夹具不需要太高的强度。
（4）传统的车、铣、钻加工中，刀具硬度必须比工件硬度大，而数控电火花线切割机床的电极丝材料不必比工件材料硬，所以可以加工硬度很高或很脆，用一般切削加工方法难以加工或无法加工的材料。在加工中作为刀具的电极丝无须刃磨，可节省辅助时间和刀具费用。
（5）直接利用电、热能进行加工，可以方便地影响加工精度的加工参数（如脉冲宽度、间隔、电流）进行高调整，有利于加工精度的提高，便于实现加工过程的自动化控制。
（6）电极丝是不断移动的，单位长度损耗少，特别是在慢走丝线切割加工时，电极丝一次性使用，故加工精度高（可达±2μm）。
（7）采用线切割加工冲模时，可实现凸、凹模一次加工成形。